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真空计可分为真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称真空计,这种真空计测量精度较高,主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量,其测量精度较低,而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力,使用方便,在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105~10-11帕,甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范围测量,因而有多种真空计。zui常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。
U形管真空计用以测量粗真空和低真空的真空计(图1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气),另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。压缩式真空计又称麦克劳真空计,是一种测量低真空和高真空的真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成(图2a)。A是一根与被测真空系统相连接的开管,D、B为内径相同的毛细管,V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时,通过活塞2抽真空,然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′,则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩,压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示(图2b)。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可测出的,所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5%。电阻真空计又称皮喇尼真空计,是一种测量低真空的相对真空计,主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管(图3)是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝,常用的为钨或铂丝。测量时,规管与被测真空系统相接,用一定的电压、电流加热电阻丝,其表面温度可用电阻值来反映,且与周围的气体分子的热传导有关,而气体分子的热传导又与压力有关。
当被测压力降低时,由气体分子传走的热量减小,电阻丝表面温度就增高,电阻值增大;反之,电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。热阴极电离真空计通称电离真空计,主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管(图4)和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似,有3个电极:阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时,规管与被测真空系统相连。通电后,热阴极发射电子,在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极(带负电位)上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时,离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度(亦即压力p)成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1~10-5帕。此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计
各种间接测量的数显真空规,它们是:
- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S/TR211
- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225
- 薄膜电容规 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100/TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空仪表
分类原理介绍
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
波尔登规
如右图所示,细的铜管受气体压力不同会有舒展现象,会带动杠杆和齿轮旋转,使得指针指示在不同刻度上,即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。
莱宝公司作为全系列的真空设备供应商,拥有应用各种工作原理的真空计,其测量范围从1000毫巴到10-12毫巴,覆盖了15个数量级,可以满足各种真空工艺的要求。欧瑞康莱宝的真空计家族包括:
- 用于测量粗真空的各种工作原理的机械指针式真空表。
- 各种间接测量的数显真空规,它们是:
- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S
- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225
- 薄膜电容规 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100/TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空仪表
德国莱宝真空计|莱宝真空规管TR211准确、轻便的Center和Display系列真空仪表显示范围从1000毫巴到10-10毫巴,具有数显液晶显示器,可快速、直观、地反映真空系统的状态。数显读数可以用毫巴、托、帕和微米汞柱四种单位来显示。
另外,欧瑞康莱宝公司还拥有可以测量10-12mbar的超高真空测量仪表,这就是的IM540。
德国莱宝真空计|莱宝真空计|莱宝真空规管TR211今天,真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺,必须采用的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。
莱宝真空测量仪 今天,真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺,必须采用的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。
莱宝公司作为全系列的真空设备供应商,拥有应用各种工作原理的真空计,其测量范围从1000毫巴到10-12毫巴,覆盖了15个数量级,可以满足各种真空工艺的要求。
OMAL DA060402S
OMAL S100BAHUUPVRCA
NEIDLEIN NL 73502
HYDAC HDA4745-A400-000
HYDAC HDA4745-A-006-000
HYDAC HDA4744-4160-000
HYDAC HDA4745-A-100-000
HYDAC KMS30-2402416
POSEICO AT737LTS10
KTR GR38 Rotex set
KTR GR75 rotex set
KTR Rotex-stem38,98shore A
KTR Rotex-stem90,98shore A
AVENTICS 5811612100
AVENTICS R412004800
REXROTH R412006185 AS2-FRE-G038-GAN
Hengstier 0499550(2-6bar)
ELTRA ER63D1024S8/24L9X6MR
M&C KS2.EX
DI-SORIC DCC3.0V0.6pPSK-K-TSL
INTEMORMEN 312618
burkert 132161
burkert 226477
burkert 031709
burkert 677677
burkert 677679
EMG SV1-10/16/120/6
ASCO SC8327A607 220VAC/50 HZ
PETERS GIB3090S61(M007586)
FRIZLEN FZG 500X65-60
HYDAC HDA4745-A-400-000
HYDAC WSM108130D-01-C-N-0
AVENTICS R414002009
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AVENTICS 5811110100
AVENTICS 5813170650
AVENTICS 5795900220
HOERBIGER HV07941 H300D075D2H122 V02PB1
ATOS ADRL-20/8
ATOS QVKZOR-TE-10/65 20
ATOS ARE-06/350/R
KISTLER 5039A332
SAMSON 5824-10
PILZ 777301
HYDROPA DS-802/M/B
JIHOSTROJ 00L-R01K02-AG01P01-N
R+W WISTER-Besl BK4/60/82/20/16
GEMU 55010D937510G1
BURKERT 00020293
BURKERT 139155
SCHLEICHER R1.188.0359.1
SCHLEICHER R1.188.0579.0
BRINKMANN 3LASE0SI-B00080
SITEMA KRGP 022 20
NIVELCO RCM-400-3
BAUSER 633.6 230VAC 50HZ
BUCUER MTKAVD*2M22
OMAL VDA10003
OMAL DA060412S
OMAL VDA10003
VOITH 1500341180017-011 NG63 G1/4RS
PILZ 774790
SOMMER GP30-B
STENFLEX GR-SAE PN16 DN100
GEFRAN TC5-B-1-J-5-Q-1-B-3-100X000X00015XX
SCHMALENBERGER FB 50-16/4 50/60HZ
HYDAC ENS3118-5-0520-000-K
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BURKERT 179226
BURKERT 615157
BURKERT 285628
BURKERT 279363
SENECA K109PT
HYDAC LF ON 110IC 20D1.0/-24
HYDAC 007L010P
STAHL 8146/1S73 PTB01ATEX1016
AGI SENSOR AGP-06-OR
MASONEILAN 010865003-779-0000
MTS EP00200MD341A01
SOR 6NN-K-5-4N-C2A
SOR 54NN-K118-M4-C2A
ROSS 5500B9001
ROSS D550A8001
ROSS D5500A5003